溶胶凝胶旋转涂敷技术制备ZnO:In薄膜的结构特性

摘要

采用溶胶凝胶法,结合旋转涂敷技术在石英衬底上制备了210-240nm厚度的ZnO:In薄膜.使用掠角入射X射线衍射(GI-XRD)、常规X射线衍射、傅里叶变换红外光谱、原子力显微镜、光致发光谱以及不同入射角GI-XRD谱(α=1,2,3和5°)等手段,对不同掺杂浓度的ZnO:In薄膜进行了结构分析.发现ZnO:In薄膜内部是由大尺寸(002晶向的无应力ZnO晶粒堆积而成,而薄膜表面主要是小尺寸的(002和(103)晶粒,并且适量的In掺杂能有效改善ZnO薄膜内部的晶体结构特性.