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邱春文; 石旺舟; 黄翀;
汕头大学物理系,汕头,515063;
多晶硅薄膜; PECVD法:低温制备;
机译:在非晶Si / Al界面上采用无铝氧化铝的Al诱导结晶法低温制备多晶硅薄膜
机译:纯硅烷源气对微晶和多晶硅薄膜的生长机理
机译:PECVD对乙炔和乙烯源气对DLC超薄膜的表征和微腐蚀
机译:PECVD法从SiCl4光稀释氢中低温快速生长多晶硅薄膜
机译:用于低温制备可充电电池电极材料的单源前体。
机译:熔融盐和微波改性硼/碳热还原法高效低温制备平板状ZrB2-SiC粉
机译:载气对大气环境的化学和物理效应 氟化前体的压力pECVD
机译:用气源分子束外延法掺杂Znse
机译:LPCVD法和PECVD法形成半导体装置的金属线的方法
机译:牙钻冷却气源-带有衬套,用于将电机的气源转换为单独的气源管线
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