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任明放; 王华; 许积文; 杨玲;
桂林电子科技大学信息材料科学与工程系,桂林,541004;
氧化锌铝; 透明导电薄膜; 导电性能; 磁控溅射;
机译:直流溅射沉积氧化锌和掺铝氧化锌薄膜的结构和电性能研究
机译:溅射条件对面对靶溅射系统制备的掺铝氧化锌薄膜性能的影响
机译:铝共溅射氧化锌薄膜的室温性能
机译:室温下射频磁控溅射在Si衬底上制备纳米棒氧化锌薄膜的结构性能
机译:研究磁控溅射生产的氧化锌基薄膜的结构,电,光和磁性能。
机译:在不加热衬底的情况下通过射频磁控等离子体溅射沉积的铝掺杂氧化锌薄膜的空间分辨光电性能
机译:衬底温度对直流磁控溅射沉积铝掺杂氧化锌薄膜性能的影响
机译:反应共溅射制备高透明导电铝掺杂氧化锌薄膜(后印刷)。
机译:通过溅射制备氧化锌基薄膜的方法及由此制备的氧化锌基薄膜
机译:基于氧化锌的溅射靶材,制备方法以及薄膜晶体管,其中包括由基于氧化锌的溅射靶材沉积的阻挡层
机译:基于氧化锌的溅射靶材,制造基于氧化锌的溅射靶材的方法,以及具有通过制造基于氧化锌的溅射靶材的方法沉积的具有屏蔽层的薄膜晶体管
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