光调制反射谱作为MBE生长中的原位检测手段的应用

摘要

本文介绍了光调制光谱（ＰＲ）在ＭＢＥ生长中原位光谱检测中的应用，利用了光调制光谱（ＰＲ）本身特有的室温下有很高的灵敏度，并进一步与ＭＢＥ系统有效结合，为ＭＢＥ生长原位光谱检测增添了一种可行的手段。