808nm垂直腔面发射激光器湿法氧化工艺的研究

摘要

为提高808nm垂直腔面发射半导体激光器(VCSEL)的输出功率与电光转换效率,对其湿法氧化工艺进行了实验研究.采用扫描电镜(SEM)的微区分析功能,对样品氧化层按不同的氧化深度进行微区分析.微区分析结果表明:适当降低氧化温度,延长氧化时间,可减小氧化限制孔径的控制误差,提高氧化工艺的准确性;氧化后对样品进行高温加热处理,可减少氧化层中的As含量,改善氧化层的质量,提高氧化工艺的热稳定性.