机译:集成MEMS气体预浓缩器的硅微加热器的设计,制造和表征
机译:基于微型RF MEMS开关电容器的移相器的设计,制造和表征
机译:使用系列MEMS开关设计和制造两个开关超导微带发夹式滤波器
机译:通过热致动MEMS装置的新型3D MEMS制造/微切削设施的设计与仿真
机译:使用串联微机电系统(MEMS)开关设计和制造两个开关式超导微带发夹式滤波器
机译:用于光学相干层析成像的2轴电热MEMS微扫描仪的设计与制造
机译:基于两级驱动的悬臂RF MEMS微开关的设计和制作
机译:应变供电微机电系统(mEms)开关的设计与制作。