University of Illinois at Urbana-Champaign.;
机译:激光干涉光刻技术进行纳米图案化:在光学器件中的应用
机译:混合光刻:光学和电子束光刻的结合。研究高级设备节点的过程集成和设备性能的方法
机译:电子束光刻和软光刻技术制造和集成聚合物集成光学器件
机译:通过激光干涉光刻技术制造的用于大面积显示设备的等离子滤色片
机译:光学干涉涂层中的表面散射。
机译:用于干涉光刻的超表面产生的复杂3维光学场
机译:激光干涉光刻纳米图形化:应用于 光学设备
机译:用于光学器件和涂层的干涉光刻