a-Si:H/c-Si异质结太阳电池ITO薄膜研究

目录

声明

第1章 绪论

1.1 光伏技术发展现状

1.2 a-Si:H/c-Si异质结(HAC)太阳电池特点及发展概况

1.3 透明导电氧化物薄膜(TCO)

1.4 本文研究目的与内容

第2章 ITO薄膜工艺研究

2.1 引言

2.2 实验方法

2.2.1 样品制备

2.2.2 测试表征

2.3 ITO薄膜工艺与膜层性能

2.3.1 氧含量对ITO性能的影响

2.3.2 氢含量对ITO性能的影响

2.4 HAC电池ITO薄膜工艺

2.4.1 溅射损伤

2.4.2 a-Si:H-ITO界面大气接触对钝化性能的影响

2.4.3 载板表面状况对钝化性能的影响

2.4.4 双层ITO薄膜设计与工艺

2.5 本章小结

第3章 ITO性能对HAC电池光热处理效果的影响研究

3.1 引言

3.2 实验方法

3.2.1 光热处理实验装置

3.2.2 样品及测试方法

3.3 ITO薄膜对HAC电池光热处理效果的影响

3.4 光热处理对ITO性能的影响

3.4.1 光照的作用

3.4.2 光热协同作用

3.5 本章小结

第4章 结论与展望

4.1 研究总结

4.2 展望

致谢

参考文献

攻读学位期间的研究成果