一种H型梁谐振式MEMS压力传感器

目录

声明

致 谢

第一章 绪论

1.1.1 MEMS技术简介

1.1.2 MEMS技术的应用

1.2 压力传感器

1.2.1 电容式压力传感器

1.2.2 压阻式压力传感器

1.2.3 光纤式压力传感器

1.2.4 谐振式压力传感器

1.2.5 一些新型压力传感器

1.3 MEMS压力传感器研究意义

1.4 本论文主要内容与章节

第二章 传感器工作原理及基本理论分析

2.1 总体设计方案

2.2 激励方式

2.3 谐振梁分析

2.3.1 单端固支谐振梁理论分析

2.3.2 双端固支谐振梁理论分析

2.3.3 双端固支谐振梁固有频率分析

2.4 压力敏感薄膜和硅岛分析

2.5 本章小结

第三章 传感器结构设计与仿真分析

3.1 传感器总体结构设计

3.2 敏感结构设计

3.2.1 H型双端固支谐振梁设计

3.2.2 压力敏感薄膜与硅岛设计

3.3 传感器仿真分析

3.4 本章小结

第四章 压力传感器工艺设计

4.1 MEMS制造工艺

4.1.1 光刻工艺

4.1.2 刻蚀工艺

4.1.3 硅硅键合

4.1.4 真空封装

4.1.5 TSV通孔技术

4.2 传感器制造工艺流程设计

4.3 本章小结

第五章 总结与展望

5.1 总结

5.2 展望

参考文献

攻读硕士学位期间的学术活动及成果情况