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王强;
中北大学;
机译:Scaln / Aln梯形悬臂的设计和性能基于MEMS压电能量收割机
机译:基于MEMS的压电悬臂梁设计的流致振动建模技术研究进展
机译:残余应力对基于ALN薄膜压电MEMS加速度计结构的影响
机译:基于CMOS兼容压电ALN薄膜的基于CMOS兼容压电ALN薄膜的子(MU)G超低噪声MEMS加速度计
机译:基于PVDF的MEMS水听器和加速度计的设计和开发。
机译:SOI基板上的轮廓模式MEMS ALN压电环谐振器的温度特性
机译:与AlN轮廓模式谐振器单片集成的压电AlN RF MEMS开关的双光束驱动
机译:用于mEms应用的低应力alN压电薄膜的直流磁控反应溅射
机译:压电ALN RF MEM开关与ALN轮廓模式谐振器单片集成
机译:压电式ALN RF MEM开关与ALN轮廓模式谐振器整体集成
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