MEMS; Piezoelectric Thin Film; Aluminumnitride; Accelerometers; Sensitivity;
机译:残余应力对基于ALN薄膜压电MEMS加速度计结构的影响
机译:基于薄膜压电AlN执行器的MEMS板的生物应用开发
机译:基于c轴倾斜AlN薄膜改善性能的MEMS压电振动能量采集器的仿真研究
机译:基于CMOS兼容压电ALN薄膜的基于CMOS兼容压电ALN薄膜的子(MU)G超低噪声MEMS加速度计
机译:N合金化的AlN薄膜:结构,压电和磁性。
机译:谐振Z轴氮化铝薄膜压电MEMS加速度计
机译:基于c轴倾斜alN薄膜的mEms压电振动能量收集器性能改进仿真研究