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李响; 马希直;
南京航空航天大学机电学院;
AlN薄膜; 压电换能器; COMSOL; 有效机电耦合系数; 品质因数;
机译:基于c轴倾斜AlN薄膜改善性能的MEMS压电振动能量采集器的仿真研究
机译:基于ALN薄膜压电层的微机械线和圆形膜换能器的建模与检测响应
机译:AlN薄膜的微区压电性能研究及高频声表面波器件的制造
机译:基于CMOS兼容压电ALN薄膜的基于CMOS兼容压电ALN薄膜的子(MU)G超低噪声MEMS加速度计
机译:N合金化的AlN薄膜:结构,压电和磁性。
机译:新型压电AlN-Si悬臂陀螺仪的设计与仿真
机译:基于c轴倾斜alN薄膜的mEms压电振动能量收集器性能改进仿真研究
机译:基体组成对反应溅射alN薄膜压电响应的影响;薄固体薄膜
机译:用于沉积压电薄膜的ALN ALN方法,该方法是ALN的压电薄膜
机译:用AlN AlN沉积压电薄膜和AlN的方法
机译:压电薄膜及其制造方法,压电薄膜基板,压电致动器,压电换能器,墨枪和喷墨打印机
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