机译:Scaln / Aln梯形悬臂的设计和性能基于MEMS压电能量收割机
Wuhan Univ Inst Technol Sci Wuhan 430072 Peoples R China;
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Stress; Aluminum nitride; III-V semiconductor materials; Structural beams; Electrodes; Particle beams; Acceleration; Piezoelectric energy harvester; power output; ScAlN; aluminum nitride (AlN); trapezoid with corners (TWCs);
机译:使用COMSOL Multiphysics软件设计和分析基于MEMS的氮化铝(AlN),铌酸锂(LiNbO 3 / sub)和具有不同基板材料的氧化锌(ZnO)悬臂,它们具有不同的基板材料
机译:基于c轴倾斜AlN薄膜改善性能的MEMS压电振动能量采集器的仿真研究
机译:基于悬臂的MEMS压电振动能量采集器的五种拓扑:数值和实验比较
机译:传统的基于悬臂的MEMS压电能量采集器的能量采集
机译:不确定性下的设计优化,可实现压电能量采集器可靠的发电性能。
机译:简单高效的基于AlN的压电能量采集器
机译:基于c轴倾斜alN薄膜的mEms压电振动能量收集器性能改进仿真研究