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【6h】

基于NiO/WO3异质结构的气体传感器研制

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目录

摘要

第1章绪论

1.1课题研究的目的和意义

1.2金属氧化物异质结构气体传感器的研究现状

1.2.1国内研究现状

1.2.2国外研究现状

1.3论文的主要研究内容

第2章半导体气体传感器的基本结构与工作机理

2.1气体传感器的定义及分类

2.2半导体气体传感器的基本结构

2.3半导体气体传感器的气敏工作机理

2.4半导体气敏材料的制备及表征

2.4.1半导体气敏材料的制备方法

2.4.2半导体气敏材料的表征

2.5气敏性能测试方法介绍

2.5.1气体传感器的特征参数

2.5.2气敏性能测试系统介绍

2.6本章小结

第3章WO3纳米材料气体传感器的制备及气敏性能

3.1.2WO3纳米材料的制备

3.2WO3纳米材料的表征

3.2.2 WO3纳米材料的成键表征

3.2.3WO3纳米材料的形貌表征

3.3WO3气体传感器的制作

3.3.1气敏元件

3.3.2气体传感器的制备

3.4WO3纳米材料气体传感器的气敏性能

3.5本章小结

第4章NiO纳米材料气体传感器的制备及气敏性能

4.1NiO纳米材料的制备

4.2NiO纳米材料的表征

4.2.1 NiO纳米材料的物相表征

4.2.2NiO纳米材料的成键表征

4.3NiO纳米材料气体传感器气敏性能分析

4.4NiO纳米材料气敏感应机制

4.5本章小结

第5章Nio/WO3异质结构气体传感器的制备及气敏性能

5.2NiO/WO3异质结构纳米材料的表征

5.2.2NiO/WO3纳米材料的成键表征

5.2.3NiO/WO3纳米材料的形貌表征

5.3NiO/WO3异质结构气体传感器气敏性能分析

5.4NiO/WO3气体传感器气敏感应机制

5.5本章小结

结论

参考文献

致谢

攻读学位期间取得学术成果

声明

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著录项

  • 作者

    冯秀;

  • 作者单位

    黑龙江大学;

  • 授予单位 黑龙江大学;
  • 学科 集成电路工程
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 孙凤云;
  • 年度 2021
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 chi
  • 中图分类
  • 关键词

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