PZT纳米线/石墨烯薄膜柔性化异质集成及其压阻性能研究

目录

声明

摘要

1．1研究背景及意义

1．2柔性压力传感器简介

1．2．1柔性压力传感器工作原理

1．2．2柔性压力传感器材料体系

1．3石墨烯基压力传感器研究进展

1．3．1石墨烯结构与性质

1．3．2石墨烯制备方法

1．3．3石墨烯薄膜基压力传感器研究现状

1．4本论文主要研究内容

2石墨烯基柔性压力传感器基本理论及测试表征方法

2．1柔性压阻式压力传感器工作原理

2．2石墨烯薄膜的压阻特性及散射理论研究

2．2．1石墨烯薄膜的压阻特性

2．2．2石墨烯薄膜的散射理论研究

2．3 PZT纳米线／石墨烯薄膜柔性化异质集成结构工作机理

2．4材料表征方法

2．4．1表面形貌

2．4．2结构分析

2．4．3压电性能表征

2．5本章小结

3 PZT纳米线／石墨烯薄膜柔性压力传感器设计及制备

3．1柔性压力传感器结构设计与制备

3．1．1柔性压力传感器结构设计

3．1．2柔性压力传感器制备

3．1．3实验设备与材料

3．2石墨烯薄膜柔性化转移及表征

3．2．1石墨烯薄膜柔性化转移

3．2．2石墨烯薄膜表征

3．3 PZT纳米线制备及表征

3．3．1 PZT纳米线制备

3．3．2 PZT纳米线表征

3．4本章小结

4 PZT纳米线／石墨烯薄膜柔性化异质集成压阻性能研究及应用

4．1 PZT纳米线／石墨烯薄膜柔性化异质集成压阻性能研究

4．1．1应力对器件压阻性能影响探究

4．1．2弯曲应变对器件压阻性能影响探究

4．2 PZT纳米线／石墨烯薄膜柔性压力传感器应用

4．3本章小结

5．1论文的主要研究内容及结论

5．2论文创新点

5．3工作展望

参考文献

攻读硕士期间取得的研究成果

致谢