溅射离子泵抽气过程的理论研究与结构优化

目录

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摘要

1．1引言

1．2离子泵的结构以及工作原理

1．3国内外研究现状

1．4选题依据、研究内容与意义

1．4．1选题依据

1．4．2研究内容

1．4．3研究意义

第2章溅射离子泵抽气过程的理论分析

2．1引言

2．2抽气过程中的气体放电理论

2．2．1气体放电中的场致发射

2．2．2气体放电中的粒子碰撞

2．2．3气体放电中的带电粒子运动

2．2．4潘宁放电理论

2．3溅射离子泵的工作机理分析

2．3．1溅射离子泵工作中的放电机理

2．3．2溅射离子泵工作中的抽气机理

2．3．3影响溅射离子泵抽气性能的参数分析

2．4本章小结

第3章抽气性能影响参数的确定与优化

3．1引言

3．2抽气性能与各参数间的关系式推导

3．2．1入射离子能量的推导

3．2．2溅射产额的确定

3．2．3沉积份额的分析计算

3．2．4抽速关系式的推导

3．3溅射离子泵抽气单元参数的优化

3．3．1阳极简半径对抽速的影响分析

3．3．2电磁场参数对抽速的影响分析

3．3．3阴极板材料及结构对抽速的影响分析

3．4本章小结

第4章磁场分布的数值模拟与结构优化

4．1引言

4．2抽气单元磁场的数值模拟与参数优化

4．2．1抽气单元磁场的数值模拟

4．2．2磁轭对磁场分布的影响分析

4．2．3永磁铁材料及结构对磁场分布的影响分析

4．3排气组件磁场分布优化与漏磁分析

4．3．1排气组件磁场分布类型的确定

4．3．2磁场模拟结果分析

4．3．3磁场分布优化方案的确定与漏磁分析

4．4本章小结

5．1结论

5．2展望

参考文献

致谢

附录