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Sputter ion pump and manufacturing method therefor and image display device with sputter ion pump

机译:溅射离子泵及其制造方法和具有溅射离子泵的图像显示装置

摘要

A sputter ion pump comprises a metal pump container. In the pump container are arranged a cathode and an anode opposed to each other in the pump container and a permanent magnet situated between the cathode and the inner surface of the pump container. After locating the anode, cathode, and magnetic material in the pump container, the magnetic material is magnetized from outside the pump container, thereby forming the permanent magnet.
机译:溅射离子泵包括金属泵容器。在泵容器中布置有在泵容器中彼此相对的阴极和阳极,以及位于阴极和泵容器的内表面之间的永磁体。在将阳极,阴极和磁性材料放置在泵容器中后,磁性材料会从泵容器外部磁化,从而形成永磁体。

著录项

  • 公开/公告号US2006078433A1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-04-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 KAZUYUKI SEINO;YOSHIYUKI SHIMADA;

    申请/专利号US20050281374

  • 发明设计人 YOSHIYUKI SHIMADA;KAZUYUKI SEINO;

    申请日2005-11-18

  • 分类号F04B37/02;H02K44/00;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 21:47:51

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