溅射离子泵抽气系统的B—A计检漏

摘要

给出了以大气中各气体组分的漏率为基础的检漏灵敏度公式，分析了获得高灵敏度的条件，提出了选择示漏气体的综合依据。计算表明，用氩作漏气体溅射离子泵系统的灵敏度很高，足以保证系统的漏气率远小于系统自身的放气率。给出了１０＾－８Ｐａ压力下的检漏结果，其理论值与实测结果很好地一致。