蜂巢式MEMS陀螺模态匹配 闭环控制技术研究

目录

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符号说明：

第一章 绪论

1.1 课题研究背景及意义

1.2 国内外多环式MEMS振动陀螺模态修调研究综述

1.2.1 国外研究综述

1.2.2 国内研究综述

1.2.3 前人工作

1.3 论文的主要研究内容

第二章 蜂巢式MEMS振动陀螺工作原理与误差模型分析

2.1 蜂巢式MEMS振动陀螺的结构和工作原理

2.1.1 陀螺基本结构

2.1.2 陀螺工作原理

2.2 蜂巢式MEMS振动陀螺的误差模型分析

2.2.1 振动陀螺的误差分析

2.2.2 带误差的振动陀螺的动力学模型

2.3 模态匹配对振动陀螺性能的意义

2.3.1 开环模式下模态匹配的影响分析

2.3.2 力平衡模式下模态匹配的影响分析

2.4 本章小结

第三章 蜂巢式MEMS振动陀螺修调电压的理论分析与仿真

3.1 振动陀螺静电修调基本理论

3.2 蜂巢式MEMS振动陀螺修调电压的理论分析

3.2.1 外环修调分析

3.2.2 内环修调分析

3.2.3 修调电压的理论分析

3.3 仿真验证

3.3.1 模态偏转修调能力仿真

3.3.2 频率裂解修调能力仿真

3.3.3 仿真结果分析

3.4 本章小结

第四章 蜂巢式MEMS振动陀螺闭环模态匹配方法

4.1 振动陀螺修调一般方法

4.2 模态偏转闭环控制理论

4.2.1 模态偏转闭环控制方案

4.2.2 模态偏转闭环控制理论分析

4.3 频率裂解闭环控制理论

4.3.1 频率裂解闭环控制方案

4.3.2 频率裂解闭环控制理论分析

4.3.3 抖动信号频率分析

4.4 模态匹配闭环控制方案仿真

4.4.1 模态偏转闭环控制方案仿真

4.4.2 频率裂解闭环控制方案仿真

4.5 本章小结

第五章 蜂巢式MEMS振动陀螺模态匹配闭环控制误差分析

5.1 模态偏转闭环控制误差分析

5.1.1 模态偏转闭环控制稳态误差影响分析

5.1.2 抖动信号影响分析

5.2 频率裂解闭环控制误差分析

5.2.1 频率裂解闭环控制稳态误差影响分析

5.2.3 抖动解调影响分析

5.3 模态匹配闭环控制系统的特点

5.4 本章小结

第六章 蜂巢式MEMS振动陀螺模态匹配实验

6.1 蜂巢式陀螺基本参数测试

6.1.1 测试方案及原理

6.1.2 测试结果

6.2 模态匹配闭环控制方案实验验证

6.2.1 模态偏转闭环控制验证

6.2.2 频率裂解闭环控制验证

6.3 本章小结

第七章 总结与展望

7.1 全文总结

7.2 研究展望

致谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果