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摘要
第一章 绪论
1.1 课题背景与研究意义
1.2 研究现状
1.2.1 硅微机械振动式陀螺仪结构
1.2.2 谐振器固有频率调节方法
1.2.3 硅微振动式陀螺仪模态频率自匹配
1.2.4 振动式陀螺仪动力学方程求解
1.3 课题来源及研究内容
1.3.1 课题来源
1.3.2 研究内容
1.3.3 论文结构纲要
第二章 单质量硅微陀螺仪基础及相关特性分析
2.1 陀螺仪结构的运动分析
2.2 陀螺仪结构的力学分析
2.2.1 弹性支撑力
2.2.2 静电驱动力
2.2.3 阻尼力——低真空阻尼模型
2.3 动力学分析
2.4 输入角速率检测
2.4.1 常值角速率
2.4.2 正弦角速率
2.5 温度特性分析
2.5.1 固有频率
2.5.2 品质因数
2.6 小结
第三章 频率可调节双质量硅微陀螺仪结构设计与分析
3.1 双质量全解耦陀螺仪的动力学分析
3.2 静电调节梳齿设计
3.3 频率可调节双质量陀螺仪结构设计
3.3.1 结构设计
3.3.2 参数设计
3.4 压模梳齿的影响
3.4.1 动态非线性特性
3.4.2 吸附特性
3.5 小结
第四章 频率调节陀螺仪开环调节特性与性能参数测试
4.1 测试系统构建
4.2 基本参数测试
4.2.1 模态频率和品质因数
4.2.2 正交耦合刚度
4.2.3 频率调节特性
4.3 静态校正试验
4.4.1 驱动和检测环路设计
4.4.2 标度因数和动态带宽
4.4.3 零偏特性
4.4.4 温度特性
4.5 小结
第五章 基于相频特性的模态频率自匹配及检测技术
5.1 基于锁相环技术的频率调节方法
5.1.1 锁相环的工作原理
5.1.2 驱动模态的频率调节
5.1.3 检测模态的频率调节
5.2 基于正交耦合响应的频率匹配分析
5.3 基于科氏响应的频率匹配分析
5.4 基于外加载荷受迫响应的频率匹配分析
5.4.1 理论和仿真分析
5.4.2 闭环力反馈检测
5.4.3 实验验证
5.4.4 全温特性
5.5 小结
第六章 基于幅频特性的模态频率自匹配技术
6.1 工作原理分析
6.1.1 幅值监测
6.1.2 梯度求值
6.1.3 调节电压控制
6.1.4 方法总结
6.2 仿真验证分析
6.2.1 幅值与调节电压的关系
6.2.2 频率自调节闭环控制
6.3 实验测试
6.4 小结
第七章 基于频率特性对称性的模态频率自匹配及检测技术
7.1 频率调节工作原理
7.2 陀螺仪的模态频率自匹配
7.2.1 通道信号分析
7.2.2 仿真优化分析
7.3 实验验证与分析
7.3.1 开环检测
7.3.2 闭环检测
7.4 小结
第八章 总结与展望
8.1 研究工作总结
8.2 展望
致谢
参考文献
攻读博士学位期间发表论文及专利