光学元件超精密磨削关键技术研究

目录

声明

第一章 绪论

1.1 课题来源与意义

1.1.1 课题来源

1.1.2 课题研究背景及意义

1.2 国内外研究现状

1.2.1 磨削设备发展现状

1.2.2 磨削技术研究现状

1.3 论文主要研究内容

1.3.1 研究思路

1.3.2 主要研究内容

第二章 磨削设备误差对加工精度影响分析

2.1 超精密机床空间误差建模

2.1.1 相邻典型体理想状态下的运动学描述

2.1.2 典型超精密机床结构分析

2.1.3 机床空间运动误差模型求解

2.2 砂轮轴回转误差及对面形精度影响分析

2.3自研超精密机床加工能力验证

2.3.1 UPL-450超精密机床空间运动误差求解

2.3.2 砂轮轴回转误差测量

2.4本章小结

第三章 砂轮对中及形状误差对加工精度影响分析

3.1 磨削方式选择及砂轮选型

3.1.1 磨削方式分析及确定

3.1.2 砂轮型号选择

3.2 砂轮对中误差对面形精度影响分析

3.2.1 超精密磨削砂轮对中要求分析

3.2.2 砂轮对中方案

3.3 砂轮形状误差对面形精度影响研究

3.3.1 砂轮半径误差对面形精度的影响分析

3.3.2 砂轮磨损对面形精度影响

3.4 砂轮修整方案及评价方法

3.4.1 砂轮测量方法及测量误差分析

3.4.2 砂轮在位修整方案

3.4.3 砂轮修整评价方法及修整结果分析

3.5 本章小结

第四章 砂轮磨损对面形精度影响分析研究

4.1 砂轮磨损面形误差模型的建立

4.1.1 模型建立理论条件准备

4.1.2 砂轮磨损误差建模

4.1.3 误差模型补偿方法

4.2 砂轮磨损影响因素及对面形精度的影响分析

4.2.1 砂轮半径对工件面形误差的影响

4.2.2 工件口径对面形精度的影响

4.3 本章小结

第五章 高精度磨削加工实验

5.1 实验平台

5.1.1 磨削实验平台

5.1.2 测量仪器与设备

5.2 工艺参数优化

5.2.1 正交实验方案制定

5.2.2 正交实验结果与分析

5.2.3 高效、高精工艺参数优化

5.2.4 亚表面损伤检测

5.3 砂轮磨损误差预测

5.4 典型试件高精度磨削实验及结果分析

5.4.1 高精度磨削实验

5.4.2 实验结果与分析

5.5 本章小结

第六章 总结与展望

6.1 全文总结

6.2 研究展望

致谢

参考文献

作者在学期间取得的学术成果