封面
声明
中文摘要
英文摘要
目录
第一章 前 言
1.1 研究的意义
1.2 本领域研究的发展态势
1.3 研究内容
1.4 研究方法
1.5 本章小结
第二章 铜线键合技术的分析
2.1 铜线键合及工艺分析
2.2 焊盘键合深度失效分析
2.3 金属的塑性形变
2.4 键合机理
2.5 本章小结
第三章 实验仪器及样品制备
3.1 设备和材料
3.2 制样与测量
3.3 铜线键合中金属铝焊盘键合深度
3.4 本章小结
第四章 铜线键合中工艺金属焊盘对键合深度的影响研究
4.1搜寻阶段对键合深度的影响
4.2键合力对键合深度的影响
4.3键合过程中超声对键合深度的影响
4.4键合时序对金属焊盘键合深度的影响
4.5分步键合中主要因素分析
4.6部分因数实验一
4.7部分因数实验二
4.8本章小结
第五章 铜线键合中因数对金属焊盘键合深度的影响研究
5.1铜线对金属焊盘键合深度的影响
5.2劈刀几何尺寸对金属焊盘键合深度的影响
5.3加热块温度对金属焊盘键合深度的影响
5.4超声系统对金属焊盘键合深度的影响
5.5电子打火系统对金属焊盘键合深度的影响
5.6保护气体流量对金属焊盘键合深度的影响
5.7本章小结
第六章 结论
1、取得的主要研究成果
2、主要主要
3、下一步工作的建议
致谢
参考文献