Ge/SiGe异质结激光器结构与性能研究

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第一章 绪 论

1.1引 言

1.2国内外研究现状

1.3论文主要工作和章节安排

第二章 改性Ge与SiGe合金的材料特性研究

2.1 Ge材料的改性

2.2改性Ge材料中载流子的复合

2.3 SiGe合金的材料特性研究

2.4本章小结

第三章 Ge/SiGe激光器的结构设计

3.1激光器的工作机制

3.2激光器的性能参数

3.3 Ge/SiGe异质结激光器的结构设计

3.4 Ge/SiGe异质结激光器结构的应变分布

3.5本章小结

第四章 Ge/SiGe激光器的仿真研究

4.1 Silvaco TCAD仿真软件介绍

4.2 Ge/SiGe异质结激光器仿真环境设置

4.3 Ge/SiGe异质结激光器的仿真

4.4关键参数对Ge/SiGe异质结激光器性能的影响

4.5 Ge/SiGe异质结激光器的工艺流程

4.6 Ge/SiGe激光器的结构优化及仿真

4.7本章小结

第五章 总结与展望

参考文献

致谢

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