基于微细加工的光阀光调制器的研发

目录

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第一章 绪论

1.1 研究背景与研究目的

1.2国内外研究现状

1.3研究内容与设计指标

1.3.1研究内容

1.3.2设计指标

1.3.3课题关键点与难点分析

1.4论文组织

2.1 光调制器

2.1.1基本原理

2.1.2光调制器的分类

2.2液晶

2.2.1液晶的分类

2.2.2液晶连续体弹性形变理论

2.3 微细加工

2.4 液晶光阀光调制器的结构和调制原理

2.5 TFT-SLM的结构和调制原理

2.6本章小结

第三章 液晶光阀光调制器调制测量方法与光电特性分析

3.1已有的测量液晶空间光调制器光调制特性的方法简介

3.1.1功率计测量法

3.1.2双缝干涉法

3.1.3 径向剪切干涉法

3.2 强电场法测定液晶盒极向锚定能分析

3.3光电特性分析

3.4本章小结

第四章 液晶光阀光调制器的不同方案与工作原理分析

4.1 TN模式

4.1.1 TN模式工作原理分析

4.1.2 TN型液晶光阀的PID控制

4.2 IPS模式与工作原理分析

4.3 VA模式

4.3.1 VA模式工作原理分析

4.3.2 VA液晶盒光学延迟量的测量

4.4 TN、IPS、VA模式组成结构与显示特性异同分析

4.5 华日内部液晶器件的制作过程及液晶光阀光调制器的方案定型

4.6本章小结

第五章 液晶显示加工工艺与基于TN型液晶的光阀光调制器的实现

5.1 TFT加工工艺

5.2 彩色滤光器玻璃加工工艺

5.3 单元装配工艺

5.4模块装配工艺

5.5液晶光阀的制备

5.5.1 CdS一CdSe光电导层的制备

5.5.2 光刻工序工艺参数的确定

5.5.3 PI液材料的选择

5.6本课题使用工艺与已有工艺对比

5.7液晶光阀的性能及测试

5.8本章小结

第六章 总结与展望

6.1 总结

6.2 展望

参考文献