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Improving the performance of spatial light modulators using custom microfabrication techniques

机译：使用定制的微细加工技术改善空间光调制器的性能

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We have pioneered the development of a generic spatial light modulator (SLM) technology which utilises a ferroelectric liquid crystal (FLC) layer in direct contact with a VLSI silicon backplane. The silicon backplane is invariably based on a random access memory (RAM) device and we have produced arrays up to 256/spl times/256 pixels, with larger and faster arrays already under development. The silicon backplanes are fabricated at one of a number of silicon foundries.

机译：我们已经开发了一种通用空间光调制器（SLM）技术的开发，该技术利用铁电液晶（FLC）层与VLSI硅背板直接接触。硅背板非常基于随机存取存储器（RAM）设备，并且我们已经产生了高达256 / SPL时间/ 256像素的阵列，并且已经开发的较大且更快的阵列。硅背板在许多硅原料之一中制造。

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来源
《》|1996年|P.2.1-2.3|共1页
会议地点
作者
OHara; A.; Underwood; I.;
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正文语种
中图分类无线电电子学、电信技术;
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