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邱文瑞;
华中科技大学;
高精度; MEMS加速度计; 电镀金;
机译:在验证质量上增强带电镀金的硅MEMS压敏单轴加速度计的性能
机译:在证明质量上电镀金的硅MEMS压阻式单轴加速度计的性能增强
机译:硅MEMS PZR加速度计的性能增强校样电镀金
机译:高精度聚合物镜片制造的注塑工艺研究
机译:高精度电容式MEMS加速度计中减轻粘结引起的翘曲的温度梯度方法
机译:用于缓解粘接诱导的高精度翘曲的温度梯度方法,高精度电容MEMS加速度计
机译:Hewlett-packard mEms地震加速度计的简要测试
机译:利用SOI晶片和加速度计制造高精度MEMS惯性传感器的方法
机译:具有高精度和低灵敏度的MEMS加速度计
机译:高精度的MEMS加速度计,在温度和感染方面具有很高的灵敏度
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