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第一章绪论
1.1衍射光学元件简述
1.2惯性约束核聚变技术简介
1.2.1惯性约束核聚变(ICF)简述
1.2.2 ICF的实现及驱动方式
1.3 ICF均匀照明中的DOE
1.3.1均匀照明的DOE实现方法
1.3.2多台阶位相片(DPP)的评价指标
1.4本论文的内容安排
参考文献
第二章DOE设计原理及方法
2.1 DOE的设计原理
2.1.1 DOE的设计思想
2.1.2均匀照明用DOE的理论设计模型
2.2常用的DOE设计方法
2.2.1基于Fourier变换的迭代方法
2.2.2极值搜索优化算法
2.3其他方法
2.3.1杂化算法
2.3.2分布迭代方法
2.3.3空间频域优化方法
2.3.4差值反馈优化算法
2.4本章小结
参考文献
第三章DOE设计中的插值迭代方法
3.1插值迭代设计原理
3.1.1信号内插
3.1.2 DOE束匀滑内插模型
3.1.3算法流程
3.2设计实例分析
3.2.1设计结果
3.2.2束匀滑效果比较
3.2.3重复性验证
3.3算法的局限性
3.4本章小结
参考文献
第四章DOE设计中的衍射效率分析
4.1 φ320mm16台阶DPP的衍射效率分析
4.1.1数值模拟分析
4.1.2理论推导分析
4.2衍射效率的改进办法
4.2.1衍射效率损耗的近似计算
4.2.2增大采样点设计
4.2.3离线测试结果
4.3新的DPP设计结果
4.4本章小结
第五章DPP的工艺实现及误差分析
5.1 DPP制作工艺简介
5.1.1紫外光刻工艺
5.1.2离子束刻蚀工艺
5.1.3掩模套刻方法
5.2 DPP的束匀滑实现
5.3 70mm直径小口径DPP工艺分析
5.3.1随机分布型刻蚀误差对匀滑的影响
5.3.2球面分布型刻蚀误差对于束匀滑的影响
5.4 DPP工艺优化方法
5.4.1离子束发射源强度拟合
5.4.2 G参数对于束匀滑的影响
5.4.3离子束刻蚀工艺优化的思想
5.5本章小结
参考文献
第六章DOE设计近期进展
6.1旋转对称DOE设计
6.1.1一维Phase Unwrap方法
6.1.2旋转对称DOE设计结果
6.1.3旋转对称DPP的宽容性
6.2衍、折射结合设计方法*
6.2.1基本设计原理
6.2.2小口径衍折射DPP设计结果
6.3二维位相展开与CPP设计*
6.3.1 CPP的设计理念
6.3.2二维位相展开与CPP设计方法
6.3.3 CPP设计结果
6.4本章小结
参考文献
第七章总结与展望
7.1总结
7.2展望
在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果
致谢
中国科学技术大学;