公开/公告号CN113467077A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-01
原文格式PDF
申请/专利权人 嘉兴驭光光电科技有限公司;
申请/专利号CN202110691207.8
申请日2021-06-22
分类号G02B27/00(20060101);G02B27/09(20060101);
代理机构11446 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人郝文博
地址 314500 浙江省嘉兴市桐乡市高桥大道1156号3幢8楼
入库时间 2023-06-19 12:46:51
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-06-02
授权
发明专利权授予
机译: 用于图案曝光的设备和方法,用于其的光掩模,用于光掩模的设计方法,其照明系统以及用于照明系统的实现方法
机译: 衍射光学元件,分配的均匀光投影系统,电子设备和设计方法
机译: 图案曝光的装置和方法,使用其的光掩模,用于光掩模的设计方法,照明系统的参考和实施方法