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第一章文献综述
1.1前言
1.2薄膜结构
1.2.1无定形结构
1.2.2多晶结构
1.2.3纤维结构
1.2.4单晶结构
1.2.5薄膜新结构
1.3铁电薄膜的性能
1.3.1自发极化
1.3.2铁电畴
1.3.3居里点
1.3.4介电常数
1.3.5热释电效应
1.3.6压电效应
1.4铁电薄膜的应用
1.4.1铁电随机存取存储器
1.4.2动态随机存储器
1.4.3铁电场效应晶体管
1.4.4声表面波器件
1.4.5微机电系统器件
1.4.6红外探测与成像器件
1.4.7其他光学器件
1.5 PZT晶体结构和性能
1.5.1 PZT晶体结构
1.5.2 PZT相图分析
1.6 PZT薄膜的制备方法
1.6.1 Sol-Gel法
1.6.2真空蒸发法
1.6.3溅射法
1.6.4脉冲激光沉积法
1.6.5化学气相沉积
1.6.6分子束外延法
1.7选题的目的和意义
第二章实验
2.1实验原料与器材
2.1.1实验原料
2.1.2实验设备
2.2样品制备
2.2.1基板的清洗工艺
2.2.2 PZT溶胶制备
2.2.3 PT溶胶的制备
2.2.4 PZT/PT复合纳米点薄膜的制备
2.2.5制备PZT纳米点薄膜的流程图
2.2.6水热法在基板上生长PZT
2.3测试方法
2.3.1 X射线衍射(XRD)
2.3.2场发射扫描电子显微镜(SEM)
2.3.3傅立叶红外吸收光谱(FT-IR)
2.3.4差热分析(DTA)
第三章稳定化PZT先驱体溶胶及PZT凝成研究
3.1引言
3.2稳定化PZT先驱体溶胶及其影响因素分析
3.2.1 PZT先驱溶胶溶液产生沉淀的分析
3.2.2温度对PZT溶胶溶液稳定性的影响
3.2.3 pH值对PZT溶胶溶液稳定性的影响
3.3凝成钙钛矿结构PZT的热处理分析
3.3.1 PZT干凝胶的差热分析
3.3.2钙钛矿结构PZT晶化的热处理分析
3.4小结
第四章PZT纳米点薄膜的表征
4.1引言
4.2 Si基板上生长PZT纳米点薄膜
4.2.1 PZT/Si薄膜的XRD分析
4.2.2 PZT/PT/Si薄膜结构的XRD分析
4.2.3 PZT薄膜的表面形貌分析
4.3Ti基板上生长PZT纳米点薄膜
4.3.1 PZT/Ti结构的XRD分析
4.3.2 PZT/Ti结构中PZT薄膜的表面形貌分析
4.3.3 PVP添加剂对PZT表面形貌的影响
4.4水热法在基板生长PZT纳米点研究
4.4小结
第五章结论
参考文献
研究生期间发表得学术论文
致谢