溶胶—凝胶法制备PZT薄膜晶化过程升温实验研究

摘要

用不同升温速率控制ＰＺＴ薄膜晶化过程，实验结果表明，当晶化温度在４００￣６００℃时，薄膜显然绿石相，当采用较高升温速率５０℃／ｍｉｎ时，在硅片上可缩小焦绿石相生成，提高钙钛矿相形成，从而获得取向性高的钙钛矿相ＰＺＴ薄膜。