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第一章 绪论
第二章 文献综述
2.1 铁电薄膜材料概述
2.1.1 铁电薄膜材料的特点
2.1.2 铁电薄膜材料的分类
2.1.3 铁电薄膜材料的生长
2.2 微波介电可调薄膜材料
2.2.1 微波介电可调原理
2.2.2 介电可调铁电薄膜研究进展
2.3 光波导薄膜材料
2.3.1 光波导原理
2.3.2 光波导薄膜的电光系数
2.3.3 光波导铁电薄膜研究进展
2.4 本论文研究的目的和意义
2.5 参考文献
第三章 样品制备、实验方法及测试方法
3.1 样品制备
3.1.1 Sol-gel法制备取向PST薄膜
3.1.2 Sol-gel法制备La/Mg掺杂PST薄膜
3.1.3 PLD法制备LixNi1-xO(LNO)底电极
3.1.4 PLD法制备PbxSr1-xTiO3(PST)薄膜
3.1.5 PLD法制备SrxBa1-xNb2O6(SBN)薄膜
3.2 物相结构和微观结构测试方法
3.2.1 X射线衍射(XRD)
3.2.2 扫描电子显微镜(SEM)
3.3 电学、光学性能测试
3.3.1 LNO薄膜电导率测试
3.3.2 PST薄膜铁电、介电性能测试
3.3.3 SBN薄膜光学、电光性能测试
3.4 参考文献
第四章 溶胶-凝胶法取向PST薄膜的制备及形成机理研究
4.1 引言
4.2 溶胶-凝胶法制备取向PST薄膜的形成及结构研究
4.2.1 ITO/玻璃基板上Tb掺杂PT缓冲层的结构研究
4.2.2 Tb掺杂PT缓冲层上取向PST薄膜的生长与形成研究
4.3 溶胶-凝胶法制备取向及非取向PST薄膜的形成及结构对比研究
4.3.1 A位La掺杂PST薄膜与取向PST薄膜的形成及结构对比研究
4.3.2 B位Mg掺杂PST薄膜与取向PST薄膜的形成及结构对比研究
4.4 小结
4.5 参考文献
第五章 溶胶-凝胶法取向PST薄膜的介电性能及取向对介电性能影响的研究
5.1 引言
5.2 溶胶-凝胶法制备取向PST薄膜的介电性能研究
5.2.1 ITO/玻璃基板上取向PST薄膜的介电特性
5.2.2 ITO/玻璃基板上取向PST薄膜的介电非线性特性研究
5.3 溶胶-凝胶法制备取向及非取向PST薄膜的介电性能对比研究
5.3.1 未掺杂非取向PST薄膜与取向PST薄膜的介电性能对比研究
5.3.2 La掺杂非取向PST薄膜与取向PST薄膜的介电性能对比研究
5.3.3 Mg掺杂非取向PST薄膜与取向PST薄膜的介电性能对比研究
5.4 小结
5.5 参考文献
第六章 PLD法取向PST薄膜的制备与介电性能研究
6.1 引言
6.2 PLD法取向PST薄膜的形成及结构研究
6.2.1 MgO基板上取向PST薄膜的生长与形成研究
6.2.2 LNO缓冲层上取向PST薄膜的生长与形成研究
6.3 PLD法取向PST薄膜的介电性能研究
6.3.1 MgO基板上取向PST薄膜的介电性能研究
6.3.2 LNO缓冲层上取向PST薄膜的介电性能研究
6.4 小结
6.5 参考文献
第七章 PLD法取向SBN薄膜的制备与电光性能研究
7.1 引言
7.2 LNO缓冲层薄膜的制备和性能研究
7.2.1 LNO缓冲层薄膜的制备研究
7.2.2 LNO缓冲层薄膜的性能研究
7.3 LNO/MgO基板上取向SBN薄膜的制备和性能研究
7.3.1 LNO/MgO基板上取向SBN薄膜的制备研究
7.3.2 LNO/MgO基板上取向SBN薄膜的性能研究
7.4 小结
7.5 参考文献
第八章 全文研究总结与展望
8.1 全文研究总结
8.2 存在的问题与展望
致谢
攻读学位期间发表的学术论文与取得的其它研究成果