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Contents
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1 绪论
1.1 课题背景及意义(Background and Significance)
1.2 TiO2和Ta2O5的结构(Structure of TiO2 and Ta2O5)
1.3 TiO2和Ta2O5的应用概述(Overview of Ta2O5 and TiO2 Applications)
1.4 薄膜的制备方法(Methods for Preparing Films)
1.5 激光与材料作用损伤机理(Damage Mechanism of Materials Induced by Laser)
1.6 本论文的研究意义和内容(Significance and Content of This Paper)
2 测试方法
2.1 离子色谱(Ion Chromatography)
2.2 Zeta 电位分析(Zeta Potential Analysis)
2.3 原子力显微镜测试(Atomic Force Microscopy)
2.4 弱吸收测试(Weak absorption test)
2.5 激光损伤阈值的测试方法(Test methods for laser Induced damage threshold)
3添加剂对TiO2薄膜性质的影响
3.1 引言(Introduction)
3.2 试验试剂和设备(Experimental Reagents and Instruments)
3.3 薄膜样品的制备(Preparation of Experimental Samples)
3.4 结果与讨论(Testing Results and Analysis)
3.5本章小结(Summary of The Chapter)
4水解催化剂对Ta2O5溶胶和薄膜的影响
4.1 引言(Introduction)
4.2 试验试剂和设备(Experimental Reagents and Instruments)
4.3 Ta2O5溶胶和薄膜的制备(Preparation of Ta2O5 Sol and Films)
4.4 样品测试结果与讨论(Testing Results and Analysis)
4.5 本章小结(Summary of The Chapter)
5 原料配比和薄膜制备环境对溶胶和薄膜性质的影响
5.1 引言(Introduction)
5.2 实验样品制备(Preparation of Experimental Samples)
5.3 乙酰丙酮含量对溶胶和薄膜性质的影响(Impact of Ratio of AcAc on Sol and Film Properties)
5.4 浓硝酸含量对溶胶的影响(Impact of Ratio of HNO3 on Sol)
5.5 H2O2含量对溶胶的影响(Impact of Ratio of H2O2 on Sol)
5.6 空气湿度和温度对薄膜性质的影响(Impact of Humidity and Temperature on Film Properties)
5.7 本章小结(Summary of The Chapter)
6 薄膜厚度对其性质的影响
6.1 引言(Introduction)
6.2 实验样品制备(Preparation of Experimental Samples)
6.3 实验结果与分析(Testing Results and Analysis)
6.4 本章小结(Summary of The Chapter)
7 退火对薄膜性质的影响
7.1 引言(Introduction)
7.2 实验样品制备(Preparation of Experimental Samples)
7.3 实验结果与分析(Testing Results and Analysis)
7.4 本章小结(Summary of The Chapter)
8 结论
参考文献
作者简历
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