声明
摘要
第一章 概述
第一节 硅基薄膜太阳电池的研究意义
第二节 硅基薄膜材料与太阳电池简介
1.2.1 氢化非晶硅与氢化微晶硅薄膜材料
1.2.2 氢化非晶硅薄膜太阳电池
1.2.3 氢化微晶硅薄膜太阳电池
1.2.4 非晶/微晶硅叠层太阳电池
第三节 本论文的组织结构
第二章 硅基薄膜材料与电池的制备原理、方法与性能表征
第一节 概论
2.1.1 RF-PECVD沉积系统
2.1.2 RF-PECVD技术制备硅基薄膜
2.1.3 RF-PECVD技术制备硅基薄膜的工艺参数
第二节 μc-Si:H薄膜材料及电池的制备
2.2.1 μc-Si:H薄膜材料的制备
2.2.2 μc-Si:H薄膜电池的制备
第三节 材料与电池的表征
2.3.1 μc-Si:H薄膜材料的表征
2.3.2 硅基薄膜太阳电池的J-V曲线测试
第三章 μc-Si:H薄膜材料的研究
第一节 器件质量级μc-Si:H薄膜材料的特征
第二节 实验过程描述
第三节 μc-Si:H薄膜材料的性能研究
3.3.1 μc-Si:H薄膜材料对衬底的依赖性
3.3.2 减薄非晶孵化层的方法
3.3.3 衬底温度对微晶硅薄膜材料性能的影响
3.3.4 沉积压强对微晶硅薄膜材料性能的影响
3.3.5 硅烷浓度对微晶硅薄膜材料性能的影响
3.3.6 辉光功率对对微晶硅薄膜材料性能的影响
第四节 小结
第四章 μc-Si:H材料在硅基薄膜太阳电池中的应用
第一节 硅基薄膜太阳电池的组成与要求
第二节 μc-Si:H材料在微晶硅太阳电池中的应用
4.2.1 P层厚度对微晶硅太阳电池的影响
4.2.2 N层材料及I/N界面的变化对非晶硅薄膜太阳电池的影响
4.2.3 本征层厚度对微晶硅和非晶硅太阳电池的影响
4.2.4 硅烷浓度对微晶硅太阳电池的影响
4.2.5 功率密度的变化对微晶硅太阳电池的影响
4.2.6 顶、底电池厚度变化对非晶臌晶硅叠层太阳电池的影响
第三节 小结
第五章 总结与展望
第一节 总结
第二节 展望
参考文献
致谢
个人简历、在学期间发表的学术论文与研究成果