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第一章 ZnO基透明导电薄膜
§1.1 透明导电薄膜概述
§1.2 ZnO基透明导电氧化物薄膜
§1.3超声喷雾热解(Ultrasonic Spray Pyrolysis,USP)技术
§1.4 本论文的研究意义和研究内容
第二章 ZnO基薄膜的超声喷雾热解法制备及结构、性能表征
§2.1 超声喷雾热解法制备ZnO薄膜
§2.2 ZnO基薄膜的结构和性能表征
§2.3 整体实验方案设计
第三章 工艺参数对ZnO薄膜结构和形貌的影响
§3.1 衬底温度对ZnO薄膜结构和表面形貌的影响
§3.2 喷口-衬底距离对ZnO薄膜结构和表面形貌的影响
§3.3 前躯体溶液浓度对ZnO薄膜结构和表面形貌的影响
§3.4 沉积时间对ZnO薄膜结构和表面形貌的影响
§3.5 退火温度对ZnO薄膜结构和表面形貌的影响
§3.6 本章小结
第四章 Al掺杂对ZnO薄膜结构和性能的影响
§4.1 Al掺杂ZnO薄膜的制备
§4.2 Al掺杂浓度对ZnO:Al薄膜晶体结构和表面形貌的影响
§4.3 Al掺杂浓度对ZnO:Al薄膜光电性能的影响
§4.4 退火温度对ZnO:Al薄膜光电性能的影响
§4.5 退火气氛对ZnO:Al薄膜晶体结构和光电性能的影响
§4.6 本章小结
第五章 Mg掺杂对ZnO薄膜结构和性能的影响
§5.1 Mg掺杂ZnO薄膜制备
§5.2 Mg掺杂浓度对MgxZn1-xO薄膜晶体结构和光学性能的影响
§5.3 退火气氛对MgxZn1-xO薄膜晶体结构和光电性能的影响
§5.4 本章小结
第六章 总结
参考文献
致谢
作者在攻读硕士期间主要研究成果
桂林电子科技大学;