基于无模型迭代学习的光刻机工件台轨迹跟踪控制

目录

第一章绪论

1.1研究背景及意义

1.2光刻机工件台系统结构及其控制方法研究现状

1.2.1光刻机工件台系统结构及功能

1.2.2工件台轨迹跟踪控制方法研究现状

1.3课题来源以及研究内容

1.3.2课题研究问题

1.3.3课题研究内容

第二章步进投影式光刻机运动平台控制系统

2.1步进投影式光刻机运动平台控制系统组成

2.2步进投影式光刻机运动平台控制系统工作原理

2.3步进投影式光刻机运动平台中的轨迹规划问题

2.4.1步进投影式光刻机运动平台特征分析

2.4.2步进投影式光刻机运动平台的频域特性分析

2.5本章小结

第三章基于能量最小的轨迹规划方法

3.2.2步进投影式光刻机工件台的轨迹规划问题分析

3.3基于能量最小的轨迹规划方法设计

3.3.2基于能量最小的轨迹规划方法目标函数设计

3.3.3基于能量最小的轨迹规划方法目标函数求解

3.4实验结果及分析

3.4.1实验参数设定

3.4.2实验结果及讨论

3.5本章小结

第四章基于无模型差分迭代学习的工件台控制算法

4.1.2步进投影式光刻机工件台中的快速精密定位问题分析

4.2迭代学习控制算法的基本原理

4.3基于数据驱动差分迭代学习控制算法设计

4.3.2基于数据驱动差分迭代学习控制器结构设计

4.4基于数据驱动差分迭代学习算法收敛性分析

4.5实验结果及分析

4.5.2实验结果及讨论

4.6本章小结

第五章基于迭代学习前馈-反馈切换的工件台控制算法

5.2基于迭代学习前馈-反馈切换控制算法基本原理

5.3基于迭代学习前馈-反馈切换控制算法设计

5.3.2基于双积分PID的反馈控制设计

5.3.3优化切换控制器设计

5.4实验结果及分析

5.4.2实验结果及讨论

5.5本章小结

第六章全文工作总结及创新

6.2论文主要创新点

致谢

参考文献

攻读硕士学位期间取得的成果