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董云杉;
上海交通大学;
ZrN薄膜; 反应磁控溅射; 纳米多层膜; 纳米晶复合膜; 微结构; 共格生长; 界面相; 力学性能; 抗氧化性能; 纳米材料;
机译:金属-ZrN和ZrN薄膜的静态纳米力学性能与动态纳米摩擦学的原子显微镜研究
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