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徐旭;
复旦大学;
等离子体浸没; 离子注入; 电感耦合等离子体; 表面波等离子体; 等离子体激元; 等离子体鞘层; 微电子材料;
机译:大型复合等离子体浸没离子注入装置的研制与实验研究
机译:直流等离子体浸没离子注入技术的进展以及等离子体浸没离子注入和沉积技术的最新应用
机译:增强辉光放电等离子体浸没离子注入和沉积过程中的等离子体鞘层物理性质和剂量均匀性
机译:等离子体浸没离子注入和沉积和相关技术改性生物材料和生物医学装置
机译:通过等离子体注入氧气和等离子体浸没离子注入进行分离,以形成绝缘体上硅。
机译:使用等离子体浸没离子注入和沉积对生物材料进行表面改性
机译:一种新型等离子体浸没离子注入机控制与自动化分布式系统
机译:用于半导体制造的等离子体浸没离子注入工艺。用于原位测量的LinearReentrant交叉场放大器,与数值模拟的比较和噪声机制的研究
机译:等离子体浸没离子注入系统,包括具有低解离和最低最小等离子体电压的等离子体源
机译:等离子体浸没离子注入系统,包括具有低解离和最低最小等离子体电压的电感耦合等离子体源
机译:等离子体浸没离子注入系统,包括具有低解离和低最小等离子体电压的电容耦合等离子体源
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