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目录
第一章 绪论
1.1 研究目的与意义
1.2 国内外发展现状
1.3 研究内容与方案
第二章 微机械陀螺的动特性分析
2.1微机械陀螺的结构
2.2 微机械陀螺对轴向加速度的响应
2.3 微机械陀螺品质因子Q
2.4 微机械陀螺的阻尼分析
第三章 微机械陀螺的器件级封装
3.1 真空封装
3.2封装的影响
3.3封装对谐振频率影响的仿真分析
3.4 微机械陀螺的器件级封装
3.5 微机械陀螺封装影响实验
第四章 器件级真空封装微机械陀螺测试
4.1 微机械陀螺主要测试指标及测试器件概述
4.2 微机械陀螺接口检测电路与系统级Matlab仿真
4.3 器件级真空封装微机械陀螺的性能测试与分析
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 展望
附录
参考文献
致谢