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第一章绪论
1.1引言
1.2电弧离子镀
1.3 TiN类多元、多层薄膜的研究进展
1.4电弧离子镀存在的问题与解决现状
1.5论文工作的内容与意义
本章参考文献
第二章实验设备与实验方法
2.1实验设备简介
2.2实验方法
2.2.1偏压及偏流波形测试
2.2.2基体温度测量
2.2.3薄膜制备
2.2.4薄膜结构、性能等测试方法
第三章脉冲偏压电弧离子镀基体沉积温度的计算
3.1电弧离子镀的电参数
3.1.1脉冲偏压的电参数
3.1.2脉冲偏压电参数对沉积温度的影响
3.2脉冲偏压电弧离子镀中决定基体沉积温度的主要因素
3.2.1离子轰击对基体的作用
3.2.2基体的热辐射和热传导
3.2.3自偏压及具有初始动能的离子对基体的作用
3.3基体沉积温度计算模型的建立
3.4温度计算模型的实验验证
3.5 工艺与结构参数对沉积温度的影响
3.5.1脉冲工艺电参数对基体温度的影响
3.5.2基材性能和设备结构对沉积温度的影响
3.6本章小结
本章参考文献
第四章电弧离子镀纳米多层硬质薄膜的初步研究
4.1实验结果与讨论
4.1.1直流偏压电弧离子镀中沉积温度对TiN薄膜性能的影响
4.1.2脉冲偏压电弧离子镀Ti/TiN纳米多层薄膜的可行性的研究
4.1.3 Ti/TiN纳米多层超硬薄膜的制备及硬化机制探讨
4.2本章小结
本章参考文献
第五章结论与建议
5.1结论
5.2对今后研究工作的建议
硕士期间发表的文章
致谢
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