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声明
1.绪论
1.1.等离子体概述
1.2.低温等离子体的研究背景及意义
1.3.射频偏压等离子体的研究现状
1.4.离子能量分布和角度分布的研究进展
1.5.本文内容简介及结构安排
2.物理模型和数值方法
2.1.流体动力学理论模型
2.2.数值方法
2.3.边界及初始条件
2.4.二维问题
3.流体动力学模拟结果
3.1.一维数值结果
3.2.二维数值结果
4.碰撞效应对极板上离子能量和角度分布的影响
4.1.蒙特卡罗方法
4.2.粒子输运中的碰撞效应
5.极板上离子的能量和角度分布
5.1.一维数值结果
5.2.二维数值结果
结 论
参考文献
攻读硕士学位期间发表学术论文情况
致 谢