一种射频动态电容耦合等离子体诊断系统及方法

摘要

本发明属于等离子体诊断科学与技术领域，公开了一种射频动态电容耦合等离子体诊断系统及方法，首先将固定的电压直接加到接阴极探针和接阳极探针上，接阴极探针接电压的正极，接阳极探针接电压的负极，通过调整偏压的大小，使得探针接阴极探针工作在正偏，接阳极探针工作在饱和离子电流区；然后经过射频调谐滤波之后，消除射频的干扰，经过一级光电隔离放大后再通过采集卡的A/D端口将模拟信号转成数字信号传输给计算机，计算出等离子体的相关参数。本发明能测量真空腔体的径向的等离子分布；能有着较高的时间分辨率，能获取等离子体瞬态的参数信息以及等离子体的涨落情况；能克服射频电源的干扰进行诊断，能获得等离子体的参数。