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机译:单频和双频电容耦合等离子体中射频鞘管的半解析有限元模型的修正:II。介电表面非均匀大体积等离子体密度和电荷的影响
Yamanashi Technology Development Center, Tokyo Electron AT Ltd., Nirasaki, Yamanashi 407-0192, Japan;
Department of Physical Electronics and Informatics, Osaka City University, Osaka 558-8585, Japan;
机译:单频和双频电容耦合等离子体中射频鞘管的半解析有限元模型的修正:结合低频的离子密度振荡
机译:单频和双频电容耦合等离子体中射频鞘管的半解析有限元模型
机译:频率匹配对双频电容耦合氩气放电等离子和鞘层特性的影响:一维流体模拟
机译:氢气电容耦合射频放电等离子体:粒子建模和负离子动力学
机译:使用能量和高能“快速”电子的密度测量亚稳态原子密度,电子能量分布函数中检测到与射频感应耦合等离子体氦放电产生的余辉等离子体相关的电子能量分布函数
机译:表面改性和本体几何形状对交联聚乙烯生物摩擦学行为的影响:磨损测试和有限元分析
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机译:高密度反应堆耦合等离子体和鞘层模型