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公开/公告号CN106997842B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-02
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201710048220.5
发明设计人 J·罗杰斯;
申请日2017-01-20
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 11:15:41
机译: 控制电容耦合等离子体工艺设备边缘环的射频振幅
机译: 电容耦合等离子体工艺装置边缘环的射频振幅控制
机译:通过振幅调制放电电压,在电容耦合的射频放电中平均传输平均具有分数基本电荷的纳米粒子
机译:粉尘粒度对射频电容耦合硅烷等离子体等离子体特性的影响
机译:在射频驱动的电容耦合氧等离子体中,表面条件对等离子体动力学和电子加热的影响
机译:射频电容耦合磁控管氮激活剂的等离子体辅助MBE中III和N族通量强度的光学控制
机译:电容耦合射频等离子体放电的数值模拟。
机译:电容耦合等离子体涂覆四环素印迹聚合物和量子点的复合材料对聚酰亚胺基材的有效高效预处理:与化学预处理的比较
机译:表面条件对电容耦合氧等离子体的射频驱动中等离子体动力学和电子加热的影响
机译:紧凑型螺旋系统(CHs)中射频电场的边缘等离子体控制