考虑漏电容的平板式微执行器Pull-in机理分析

摘要

基于MEMS（微机电系统）技术的微传感器、微执行器得到了快速发展，在其各种驱动方式中，静电驱动占有重要地位。Pull-in 现象是静电驱动的微执行器的一个重要现象，已经引起了广泛的重视和研究。Pull-in 现象有利有弊，只要确定了Pull-in 点的位置就可以灵活运用。所以，不管是在理论研究，还是在实际应用方面，获得精确的Pull-in 点的相关数据都是非常必要的。
　　 在本文中，概述了微机电系统的发展现状和发展趋势，介绍了微机电系统的制作工艺和国内外关于微执行器的研究现状，以及简单阐述了微执行器的Pull-in 现象和机理。通过分析在忽略边缘电场效应的情况下的平行板微执行器的Pull-in 现象，详细分析了平行板微执行器的Pull-in 现象，得出相关的数据。并且介绍了平行板微执行器的边缘电场效应，分析了边缘电场效应产生的机理，通过理论分析，详细研究了平行板电容器的边缘电场效应。
　　 本文分析了考虑边缘电场效应的三种理论模型，重点研究了在考虑边缘电场效应的情况下的平行板微执行器的静态Pull-in 现象，通过平行板微执行器的理论模型，得出了Pull-in现象的相关数据。通过实例分析，分别考察了平行板微执行器的各项参数的变化对于Pull-in电压和Pull-in 点的影响。最后用有限元分析软件ANSYS 建模，通过数据的对比，说明理论模型的精确度和适用范围。

目录

文摘

英文文摘

声明

第一章绪论

第二章忽略边缘电场效应的静态Pull-in 现象

第三章平行板微执行器的边缘电场效应

第四章考虑边缘电场效应的静态Pull-in 现象

第五章总结和展望

致谢

参考文献

作者在硕士研究生期间发表论文情况