摘要
注释表
第一章 绪论
1.1 研究背景
1.2 晶硅薄膜太阳电池简介
1.2.1 太阳电池发展简介
1.2.2 晶硅薄膜太阳电池简介
1.3 本文的研究内容
第二章 薄膜的制备方法及原理
2.1 主要实验设备及原料
2.2 主要实验设备原理介绍
2.2.1 热丝CVD简介
2.2.2 LPCVD简介
2.2.3 电化学全面积腐蚀单晶硅片制备双层多孔硅简介
2.2.4 快速热退火简介
2.3 实验方法
2.3.1 衬底清洗
2.3.2 热丝CVD沉积硅薄膜
2.3.3 LPCVD外延晶硅薄膜
2.3.4 电化学腐蚀制备双层多孔硅
2.3.5 快速热退火处理
2.3.6 电极制备
2.4 样品性能表征方法及原理
2.4.1 X射线衍射
2.4.2 Raman散射光谱
2.4.3 傅里叶变换红外谱(FT-IR)
2.4.4 扫描电子显微镜(SEM)
2.4.5 台阶仪
2.4.6 变温电导率
2.4.7 薄膜光响应
2.4.8 太阳电池转换效率
2.4.9 太阳电池外量子效率
第三章 热丝CVD制备硅薄膜研究
3.1 热丝温度对硅薄膜性能的影响
3.2 衬底温度对硅薄膜性能的影响
3.3 H2稀释比对硅薄膜及其p-n结性能的影响
3.4 不同衬底对热丝CVD制备多晶硅薄膜性能的影响
3.5 本章小结
第四章 快速热退火制备多晶硅薄膜研究
4.1 退火温度对快速热退火晶化法制备多晶硅薄膜性能影响
4.2 退火时间对快速热退火晶化法制备多晶硅薄膜性能影响
4.3 不同退火条件对多晶硅薄膜p-n结耐高温特性的影响
4.4 不同工艺对厚度为微米级多晶硅薄膜与衬底粘附性的影响
4.5 本章小结
第五章 薄膜型HIT太阳电池关键工艺研究
5.1 LPCVD外延晶硅薄膜的性能
5.2 钝化层沉积温度对薄膜型HIT太阳电池性能的影响
5.3 不同H2稀释比沉积钝化层对薄膜型HIT太阳电池性能的影响
5.4 发射极厚度对薄膜型HIT太阳电池性能的影响
5.5 发射极掺杂浓度对薄膜型HIT太阳电池性能的影响
5.6 本章小结
第六章 衬底偏压对热丝CVD沉积微晶硅薄膜及其太阳电池性能的影响
6.1 衬底偏压对硅薄膜结构性能的影响
6.1.1 衬底偏压对较低热丝温度沉积微晶硅薄膜性能的影响
6.1.2 热丝温度对衬底偏压辅助热丝CVD沉积微晶硅薄膜性能的影响
6.1.3 衬底偏压对不同类型衬底上沉积硅薄膜性能的影响
6.1.4 衬底偏压对高氢气稀释比沉积硅薄膜性能的影响
6.2 衬底偏压对掺杂微晶硅薄膜电学性能的影响
6.2.1 衬底偏压对p型微晶硅薄膜电学性能的影响
6.2.2 衬底偏压对n型微晶硅薄膜电学性能的影响
6.3 衬底偏压对热丝CVD制备n+nipp+太阳电池性能的影响
6.3.1 不同衬底偏压对n+n-i-pp+太阳电池性能的影响
6.3.2 不同掺杂层厚度对n+n-i-pp+太阳电池性能的影响
4.3.3 不同吸收层厚度对n+n-i-pp+太阳电池性能的影响
6.4 本章小结
第七章 结论及展望
7.1 结论
7.2 本文主要创新点
7.3 展望
参考文献
致谢
在学期间的研究成果及发表的学术论文