一种以石墨烯作为导电材料的铜铟硒纳米晶硅薄膜太阳电池及其制备方法

摘要

本发明公开了一种以石墨烯作为导电材料的铜铟硒纳米晶硅薄膜太阳电池及其制备方法。以p型重掺杂石墨烯作为衬底，通过离子束溅射法在p型重掺杂石墨烯上制备p型铜铟硒薄膜，通过蒸发法在p型铜铟硒薄膜表面沉积n型硫化镉薄膜，采用化学气相沉积法在n型硫化镉薄膜表面制备本征石墨烯过渡层，再在本征石墨烯过渡层上通过等离子增强化学气相沉积法依次制备p型与n型纳米晶硅薄膜，接着在n型纳米晶硅薄膜上通过化学气相沉积法制备n型重掺杂石墨烯薄膜，最后在n型重掺杂石墨烯薄膜表面以及p型重掺杂石墨烯衬底表面通过蒸发法制备金属电极。本发明的优点在于制作工艺简单，成本低廉，不仅扩展了传统铜铟硒薄膜太阳电池的光波吸收范围，而且充分发挥了石墨烯高导电性，高透光率以及良好的光照热稳定性的优势，提高了太阳电池的转换效率和使用寿命。