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声明
第一章 引言
1.1 MEMS的综述
1.2课题的研究背景及进展
1.2.1微波功率测量的概述
1.2.2 MEMS终端式微波功率传感器的进展
1.3课题的主要工作
1.4本章小结
第二章 终端式微波功率传感器的原理和结构
2.1基本理论
2.1.1传热学的基本原理
2.1.2共面波导的微波特性
2.1.3热电效应
2.2终端式热电微波功率传感器的工作原理和结构分析
2.2.1直接加热式微波功率传感器工作原理
2.2.2间接加热式工作原理和基本结构
2.3本章小结
第三章GaAs基终端式微波功率传感器的设计与分析
3.1直接加热式微波功率传感器的设计与分析
3.1.1温度场的模拟
3.2.2反射系数的模拟
3.2 间接加热式微波功率传感器的设计与分析
3.2.1 温度场的模拟
3.2.2反射系数的模拟
3.3本章小结
第四章GaAs基终端式微波功率传感器的工艺与版图设计
4.1工艺设计
4.1.1直接加热式传感器的工艺流程
4.1.2 间接式加热式传感器的工艺流程
4.2版图设计
4.2.1直接加热式结构的版图
4.2.2间接加热式结构的版图
4.3小结
第五章结束语
5.1总结
5.2对后续工作展望
致谢
参考文献
作者简介、硕士期间发表的论文及专利