大气状态下利用AFM实现纳米加工的研究
RESEARCH ON NANOFABRICATION WITH AFM IN AIR
摘要
Abstract
第1章 绪 论
1.1 课题背景
1.2 基于SPM纳米加工技术研究现状
1.2.1 扫描探针加工技术的特点
1.2.2扫描探针加工方法
1.3 本课题研究内容
第2章 AFM阳极氧化法纳米加工机理
2.1 引言
2.2 AFM工作原理
2.3 SPM电场加工理论
2.4 AFM阳极氧化法加工机理分析
2.4.1 大气状态下AFM所处的环境
2.4.2 AFM阳极氧化加工机理
2.5 硅表面的电场氧化机理
2.5.1 硅表面的自然氧化机理
2.5.2 硅表面的电场诱导氧化机理
2.6 本章小结
第3章 基于AFM纳米加工系统组建
3.1 引言
3.2 纳米加工系统的硬件设计
3.2.1 串行异步通讯的硬件实现
3.2.2 D/A信号处理方式
3.2.3 SAM(Signal Access Module)工作原理
3.2.4 三维微动工作台工作原理
3.3 纳米加工系统的软件设计
3.3.1 矢量加工子程序设计
3.3.2点阵加工子程序设计
3.4 本章小结
第4章 阳极氧化的实验研究和精度分析
4.1 引言
4.2 阳极氧化实验准备
4.2.1 样品的制备
4.2.2 导电探针
4.2.3 实验步骤
4.3 不同加工参数对加工的影响
4.3.1 不同偏置电压的影响
4.3.2 不同加工速度的影响
4.4 阈值电压的分析
4.5复杂结构的加工
4.6系统加工精度的影响因素分析
4.6.1探针针尖对加工的影响
4.6.2电磁噪声和温度对加工的影响
4.7本章小结
结 论
参考文献
攻读学位期间发表的学术论文
哈尔滨工业大学硕士学位论文原创性声明
哈尔滨工业大学硕士学位论文使用授权书
哈尔滨工业大学硕士学位涉密论文管理
致 谢