ニーズに応える超精密加工機と活用技術：高速微細加工を実現する超微細リニアナノ加工機

摘要

微細加工の要求が近年ますます高くなっており，当社では，金型関連の切削加工分野を主にして，リニアモータ駆動の高速マシニングセンタを市場に供給している。 この度，さらに高精度·高品位な高速微細加工を求めるユーザーの要求に応えるために，最高回転速度120,000min{sup}(-1)を可能とする主軸を搭載するコアレス方式リニアモータ駆動超微細リニアナノ加工機を開発し，昨年のJIMTOFで発表した。 その後，ブラッシュアップを図り，より精錬された加工機としたので，その主な特長，加工事例を報告する。