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硼硫共掺杂n型金刚石大单晶研究

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摘要

在5.6GPa、1250~1340 oC的条件下,利用温度梯度法,以FeNiMnCo合金为触媒,成功合成尺寸达5mm的优质Ib型金刚石大单晶。另外,研究以FeNiCo合金作为触媒、Ti/C u为除氮剂,通过降低金刚石晶体的生长速度获得了含氮量小于0.1ppm、尺寸达3-4mm的优质无色Ⅱa型金刚石。 在温度压力分别为1255-1393 oC、5.3-5.5 GPa的范围内,从FeNiMnCo-S-C系统成功合成金刚石。由于添加剂硫的存在,大单晶的形态和颜色变化明显。XPS光谱分析显示硫存在于金刚石结构中。用四探针法来测试大单晶的电学特性。当添加剂硫达到4.0%时,晶体的霍尔系数为-5.600×105,电阻率值是9.628×105Ω.cm。此金刚石大单晶样品为n型半导体。 在FeNiCo-C系统中,B-S共掺杂合成的金刚石与单掺硫金刚石相比透明度更高、颜色更黄。FTIR及XPS分析均发现硼和硫存在于金刚石内。霍尔迁移率的最大值为628.76 cm2/vs。用质量百分数为0.8%的硼和2%的硫的添加剂合成n型金刚石晶体的电阻率值较低,为9.33×105Ω?cm。在除氮实验的基础上,进行硼硫共掺杂实验,但是XPS及电学性质分析结果显示,只有硼元素可以确定存在于金刚石内。

著录项

  • 作者

    张贺;

  • 作者单位

    河南理工大学;

  • 授予单位 河南理工大学;
  • 学科 材料科学与工程
  • 授予学位 硕士
  • 导师姓名 李尚升,宿太超;
  • 年度 2017
  • 页码
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 中文
  • 中图分类 半导体技术;
  • 关键词

    硼硫; 共掺杂;

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